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。公司主要產(chǎn)品包括等離子體增強化學(xué)氣相沉積(PECVD)設(shè)備、原子層沉積(ALD)設(shè)備和次常壓化學(xué)氣相沉積(SACVD)設(shè)備三個產(chǎn)品系列，已廣泛應(yīng)用于國內(nèi)晶圓廠14nm及以上制程集成電路制造產(chǎn)線，并已展
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件好事。這將給他們足夠的時間來適應(yīng)新規(guī)?！?據(jù)公告，受限出口物項包括極紫外掩模及其生產(chǎn)設(shè)備；達(dá)到一定參數(shù)的光刻機設(shè)備；用于生產(chǎn)調(diào)節(jié)晶體管閾值電壓的材料的原子層沉積（ALD）設(shè)備；用于硅（Si）、碳摻雜
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